產品介紹

NEMST-2002IL series

連續式電漿清洗機(Strip Type)

連續式電漿清洗機(Strip Type)
連續式電漿清洗機(Strip Type)

連續式電漿清洗機(Strip Type)特色/設計說明

  • 連續式電漿清洗模式
  • 獨特氣流設計
  • 高速清洗設計: 一般每循環時間約為28~33秒(含上料、電漿處理及下料)
  • 低溫電漿清洗設計
  • 腔體中可擺放基板數目:每循環可同時處理2~3條或5~6條
  • 可選擇手動或自動操作模式

連續式電漿清洗機(Strip Type)性能特色

  • 可單機處理,亦可與前、後站機台連線
  • 適用於多種氣體,例如氬氣、氧氣、氫氣或混合氣,以達到最佳之清潔效果
  • 適用於物理反應、化學反應、物理及化學反應同時產生之方法
  • 極佳之清潔均勻性
  • 氣體消耗量極少

連續式電漿清洗機(Strip Type)應用/解決方案

  • 先進半導體封裝與組裝: IC 封裝、LED 封裝、CPO、SMT、Flip-Chip、TCP、COB、固晶/打線/封膠前基板清潔、其他
  • 各式基板與導線架應用: PBGA, Window-BGA, Mini-BGA, Micro-BGA, QFN/MLP, TFBGA, LFBGA, VBGA (EBGA), Pin BGA, PCB, MMC, SD, Micro-SD 等各式基板,及 Cu/Ag-Plating/Fe L/F 導線架
  • 通用電子元件清潔: 各電子或非電子元件之電漿清潔